真空退火爐是一種特殊的熱處理設(shè)備,用于在極低氣壓或接近真空的環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行加熱處理。這種環(huán)境能夠有效防止氧化、改善材料的力學(xué)性能和物理性質(zhì)。而真空泵則是實(shí)現(xiàn)這一環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備,它通過移除真空退火爐內(nèi)的空氣和其他氣體分子來(lái)創(chuàng)建并維持所需的低壓狀態(tài)。
真空泵的工作可以分為幾個(gè)基本步驟。首先,啟動(dòng)前,真空泵需要排空內(nèi)部空氣,確保沒有雜質(zhì)影響其性能。隨后,泵開始運(yùn)轉(zhuǎn),通過機(jī)械作用抽取退火爐內(nèi)的氣體,逐漸降低壓力。這一過程通常涉及多種類型的泵,如旋片泵、羅茨泵等,它們協(xié)同工作以達(dá)到高真空狀態(tài)。
旋片泵利用旋轉(zhuǎn)的旋片吸入并壓縮氣體,然后將其排出到大氣中,這適用于初步抽真空階段,將壓力降低到中等水平。當(dāng)需要更高真空度時(shí),羅茨泵便介入工作,它采用兩個(gè)同步旋轉(zhuǎn)的葉輪,以更高的速度排除氣體,進(jìn)一步提高真空度。